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kSA BandiT實(shí)時(shí)襯底溫度測(cè)試儀 是一種非接觸、實(shí)時(shí)測(cè)量半導(dǎo)體襯底表面溫度的測(cè)試系統(tǒng)，采用半導(dǎo)體材料吸收邊隨溫度的變化的原理，實(shí)時(shí)測(cè)量晶片/襯底的溫度。