在線X射線熒光膜厚測量儀

廠家：k-Space Associates, Inc.

型號：kSA XRF

技術(shù)介紹

對于膜層厚度較薄的金屬薄膜和介電薄膜，光學(xué)方法測量其厚度顯得不是很可靠。kSA XRF 在線X射線熒光膜厚測試設(shè)備的推出主要就是為了解決該問題，它可以在線測量許多不同材料基底（例如：玻璃和太陽能電池組件）上的薄膜厚度。

設(shè)備詳情

• 配備保護性定制框架外殼，放置X射線源和探測器。

• 該設(shè)備橋接了輸送線，以便于設(shè)備安裝和工廠用戶對系統(tǒng)的訪問。

• 當 X 射線源正在使用時，會有警示燈閃爍提示。

• 配備面板的前/后邊緣光電檢測器，用于觸發(fā)設(shè)備自動啟停。

• 柜式控制器提供數(shù)據(jù)處理及存儲功能。

• 配備小型燈塔用于指示檢測情況。

產(chǎn)品優(yōu)勢

• 某些較薄的介電薄膜，光學(xué)方法難以測量其厚度，如低于100nm厚度薄膜；在這種情況下，kSA XRF 在線X射線熒光膜厚測試設(shè)備可以很好地測量。

• 可在多種基板上測量金屬薄膜厚度。

• 實時數(shù)據(jù)采集，檢測薄膜厚度缺陷并進行在線反饋。

• 軟件功能可定制，用戶可以依據(jù)特定要求設(shè)置。

• 檢測過程中可對質(zhì)量控制進行驗證，以確保涂層厚度在公差范圍內(nèi)。

• 工廠集成功能：使工廠用戶能夠?qū)⒂嬃空系浆F(xiàn)有系統(tǒng)（工廠警報、PLC、電子郵件警報等）中。

• 操作便捷，幾乎不需要額外設(shè)置，只需操作員定期進行設(shè)備校準。

工作原理

• 該系統(tǒng)由一個帶有高壓發(fā)生器的 X 射線管和一個 X 射線探測器系統(tǒng)組成。

• 其 X 射線檢測系統(tǒng)組合了固態(tài)探測器、放大器、脈沖高度分析儀和多通道分析儀。

• 光譜儀能量校準后，系統(tǒng)自動識別 X 射線光譜峰值，并收集峰值強度以進行進一步處理。

• 該工具可根據(jù)客戶的薄膜配方和測量需求測量對應(yīng)的原子種類。

軟件功能

• 使用專有的 k-Space 軟件測量，分析和存儲數(shù)據(jù)。

• 可與現(xiàn)有質(zhì)量控制系統(tǒng)對接通訊。

• 利用光電檢測器的觸發(fā)器啟動和停止數(shù)據(jù)采集。

• 專為典型的玻璃和太陽能電池板輸送速度而設(shè)計。

• 全自動化，能夠與工廠自動化通信對接。

• 報警信號可便捷的自定義配置。

• 單個檢測頭可以放置在面板寬度上的任何位置，并且可選配使用多個檢測頭。

• 厚度測量范圍為 0~500 nm±1 nm，靈敏度和測量不確定度取決于被測元素。

軟件截圖